半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体技术高档首测配套设施涉重化工废水——MVR立即无限循环零排项目流程
内容背静
半导体技术技术舒适首测工程,大规模150立米米/天,是首位半导体技术技术首测搭配涉重生活污水零排工程。首测各个环节的镀镍、镀铜、引线层次结构擦拭会形成含镍含铜生活污水,园林要"无尾水外排",产水另一个中水回用于产线。
水硬度特点与困难
污水以含镍遵循(溶液浓度10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH震荡大(2–12),有光刻胶使用量的几瓶无机物。首测厂地点紧,需要治疗措施占地面小;零排预示着浓水未能土石方越来越多,务必网上化掉析出闭环控制。
工作技艺交通路线
总体走"分质整理 → 预办理除杂 → 有机化学结晶除镍 → 净化 → UF+二级RO → MVR直接反复蒸发掉 → 冷凝器水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢防氧化物钠转换成Ni(OH)₂发展,多加加硫钠深浅气体吸附残留镍(加硫镍Ksp比氢防氧化物镍更小,也能镍压到0.1毫克/升下述);
凝固出水量经多物质过滤装置器+联防队员过滤装置器后进UF,再进1阶段RO,产水随便回产线清理;
RO浓水(含盐+稳定度天价属)进MVR立即嵌套再循环蒸馏器,立即嵌套再循环能扛高含盐积灰,蒸馏器原带百度在线清洁工作,难于堵;
MVR冷凝器水离开回收水池子,汽化残液委外焚烧处理或用作危险废物处理,所有园区无液态氨外排。
重点机优缺原因分析
MVR强行间歇相较寻常降膜多效减压蒸馏掉,间歇气速高、换热面难于结镍盐/碳酸盐垢,比较适合测封各种"蓄水量越来越但水质检测杂"的3d场景;一体机化撬装设置占地面积比传统文化多效减压蒸馏掉塘+多效多效减压蒸馏掉计划小60%往上;废气侧设备配套微生物滤池,把调池和污水间的废气收集整理后化学降解成CO₂和水,减少测封厂紧临办公场所区的气味举报。
治疗感觉与效用
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,强于《电镀层污染问题物废气摆放基准》表三;任何150立米米/天产水工业废水处理于公测产线难以清理,重复使用等量清新水;危险废弃物(挥发残液+生活污水)量比传统意义"结晶+废气摆放"模式,减约70%。对富士康侧,公测項目绿色准入条件卡点被揍通;