某半导体电源芯片电源芯片制做厂在晶圆加工处置的过程 中,动用硅烷开始硅外延性发芽,空气洗涤剂塔产生高酸度含硅工业废液。工业废液具备有pH起伏较大大(2-11)、硅含碳量高的作用,中国传统处置方式方法易诞生硅垢堵住了方面。
电镀废水的成分及收入
生活污水主要是物质为:
融化性硅酸盐
:SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢空气氧化钠
:洗衣机清洗塔碱酸洗衣机清洗液剩余的
粒子硅
:納米级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:配料杂质残渣携带
补救制作工艺过程
创新发展使用"有级采和+膜进行过滤+蒸发器晶体"流程:
特级中合
:用CaO上下调整pH至4-5,制成硅酸钙沉垫,硅的还原率60%。
一级与
:加Na₂CO₃将pH升级至9,更进一步骤水解已用硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置系统性
:0.02μm瓷质膜活性炭过滤奈米级硅颗料,通量平衡在80LMH。
MVR多效空调冷凝器
:精炼高盐电镀废水,晶粒出Na₂SO₄副物料,水循环率超90%。
终究功效
总硅从1500mg/L降落到5mg/L之下
砷分量从0.8mg/L低于0.01mg/L
软件系统无积垢作业少于2年
第年收购磷酸钠纳米线约800吨