该厂为84英寸晶圆生孩子线配套设施的超净水系统的，日常生成含硅废水进行处理150吨。废水进行处理中虽无高价属，但硅纯度高易积灰，且电阻器率需提高18MΩ·cm能够中水回用。应有进行处工院艺没有满意新发布的《智能电子化工业水环境污染排卸标准的》（GB39731-2020）尤其是排卸标准值。 废液基本成分优势 关键污染破坏物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗料硅（颗粒直径0.1-1μm） 特色规定要求 ：TOC<10μg/L，硼纯度<5μg/L 水污染基本特性 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物底部形态错综复杂 正确处理的工艺环节 自主创新适用"梯级膜分离处理+电去阳离子"组和加工制作工艺 ： 微滤预净化处理 ：1μm瓷砖膜短信拦截大颗料硅，通量保证80LMH 化合物交易硅橡胶 ：D201大孔光敏树脂考虑性离心分离硅酸大分子 二次元RO系統 ：第1 段回收公司率60%，2.段选取高脱硼膜开关元件 EDI电去亚铁离子 ：工作电流密度单位2A/m²，定期彻底清除多余阳离子 红外光谱杀菌消毒 ：254nm红外光谱线标准容量40mJ/cm² 方法重点 激发专用型阻硅剂（生产胺类塑料物），减缓膜的污染周期时间3倍 EDI版块信息化流道定制，硅除掉率优化至99.8% 高清在线硅阐述仪（侧量依据0.1-500μg/L）实现目标识贫操纵 开机运行工作成效 经第三点方检验： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L降到0.3μg/L 软件系统回收分类处理率从原40%大幅提升至68% 膜撤换的周期减少至5年，年自动运行直接费用削减35%